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5月19日,光刻膠概念在A股成了香餑餑。容大感光、雅克科技、上海新陽、彤程新材、華懋科技、南大光電都有不小的漲幅。
作為芯片產(chǎn)業(yè)鏈上的重要一環(huán)——光刻膠,是由樹脂,感光劑,溶劑,光引發(fā)劑等組成的混合液態(tài)感光材料。原理是利用光化學反應(yīng),經(jīng)光刻工藝將所需要的微細圖形轉(zhuǎn)移到加工襯底上,來達到在晶圓上刻蝕出需的圖形的目的。如果把光刻機理解為一臺膠片相機,它要使用的膠片就是光刻膠。
按照曝光波長不同,光刻膠可以分為g線,i線、KrF、ArF、以及EUV幾種,其中KrF、EUV和ArF光刻膠主要被應(yīng)用于集成電路,屬于高端光刻膠。由于在芯片生產(chǎn)中是不可或缺的重要原料,光刻膠也因此被稱為“半導(dǎo)體材料皇冠上的明珠”。
從世界市場來看,由于將光刻膠領(lǐng)域大半的技術(shù)專利都握在手中,全球的光刻膠生產(chǎn)幾乎被日本壟斷,全球排名前四的光刻膠廠商均來自日本,大約占據(jù)全球70%的光刻膠市場份額。而在高端光刻膠領(lǐng)域,日本廠商更是占據(jù)了KrF市場的80%、ArF市場的93%,EUV市場的99%的份額,統(tǒng)治力可見一斑。
2019年,日本就曾利用斷供光刻膠的辦法對韓國企業(yè)進行制裁,向韓國政府施壓,以至于三星和海力士的CEO都不得不來到日本請求恢復(fù)供應(yīng)。
除日本廠商外剩下的30%份額中,美國所占份額又超過了15%,中國大陸的光刻膠廠商在全球市場的份額僅不足一成,并且其中94%為PCB光刻膠,只能簡單地用來印制電路板,是技術(shù)含量最低的一種光刻膠。
更麻煩的是,由于高端光刻膠的保質(zhì)期僅有6-9個月,并需要與光刻機協(xié)同工作,這樣的高技術(shù)壁壘和短周期,讓中國技術(shù)追趕難度很大。
在半導(dǎo)體用的高端光刻膠領(lǐng)域,我國尚沒有具備有國際競爭力的研發(fā)生產(chǎn)能力,對外依賴極其嚴重。
為了能夠擺脫在高端光刻膠方面受制于人的窘境,我國近年來在光刻膠國產(chǎn)替代方面不可謂不努力。包括南大光電、上海新陽、晶瑞股份等國內(nèi)光刻膠廠商也接連對外宣布取得技術(shù)突破。
2021年7月,南大光電就對外宣布ArF光刻膠已經(jīng)通過了50nm和55nm邏輯電路平臺的認證,生產(chǎn)線建設(shè)已經(jīng)完成,且年產(chǎn)能能達到25噸。晶瑞股份六月稱,公司KrF光刻膠完成中試,ArF光刻膠研發(fā)即將啟動。上海新陽稱,其公司生產(chǎn)的KrF已經(jīng)通過了客戶認證,并且拿到了第一筆訂單。
從缺少設(shè)備原料,無法滿足制作工藝,到在高端光刻膠領(lǐng)域取得突破,中國大陸的光刻膠生產(chǎn)企業(yè)在技術(shù)環(huán)節(jié)上取得的成績令人振奮,但是,現(xiàn)在還遠遠沒有到能夠慶功的時刻。
國產(chǎn)光刻膠至少在兩個問題上,還沒給出解決辦法。
第一,國內(nèi)高端光刻膠的量產(chǎn)就是一個大問題。量產(chǎn)不但對生產(chǎn)工藝要求更高,還需有廠商有能力配合產(chǎn)品差異化需求。
南大光電通過驗收ArF光刻膠項目,理論上可用于90nm-14nm甚至7nm技術(shù)節(jié)點的集成電路制造工藝。但是通過認證的目前卻不過是50nm的ArF光刻膠,這樣的尺寸,甚至已經(jīng)被像英特爾這樣的芯片加工企業(yè)放棄多年了。
南大光電曾在公告中坦言:
ArF光刻膠的復(fù)雜性決定了其在穩(wěn)定量產(chǎn)階段仍然存在工藝上的諸多風險,不僅需要技術(shù)攻關(guān),還需要在應(yīng)用中進行工藝的改進、完善。同時,ArF光刻膠產(chǎn)品國產(chǎn)化替代受品質(zhì)、客戶的嚴格要求,后續(xù)是否能取得下游客戶的大批量訂單,能否大規(guī)模進入市場仍存在較多的不確定性。這些都會影響ArF光刻膠的量產(chǎn)規(guī)模和經(jīng)濟效益。
第二,光刻膠的純度和性能都會影響到最終成品的質(zhì)量,比起與日本廠商的穩(wěn)定合作,晶圓代工廠幾乎沒有理由去采用可靠性沒有得到驗證的國產(chǎn)光刻膠。從晶圓代工廠的角度來看,光刻膠的質(zhì)量是要放在第一位的,貿(mào)然選擇新產(chǎn)品,如果由于質(zhì)量不達標而產(chǎn)生損失,對于晶圓代工廠來說得不償失。
2019年1月,臺積電就曾因為光刻膠規(guī)格不符導(dǎo)致大量晶圓作廢,發(fā)生事故的工廠廠長和質(zhì)檢負責人被換將,晶圓瑕疵造成的相關(guān)損失達到61億元,臺積電當年第一季營收因此減少約5.5億美元,毛利率減少2.6個百分點,營業(yè)利益率減少3.2個百分點,每股盈余減少新臺幣0.42元。
為了避免類似的事故,使得晶圓代工廠一旦完成對光刻膠供應(yīng)商的認證,就會與對方形成穩(wěn)定長期的合作關(guān)系。通常情況下,代工廠會提前一年依據(jù)自身需求向光刻膠廠商提供合約,為了避免換料清洗影響生產(chǎn),工廠一整年都會使用完全相同的光刻膠原料進行加工生產(chǎn),避免產(chǎn)品品質(zhì)的波動。
同時,由于產(chǎn)量規(guī)模和技術(shù)實力的巨大差距,主要的晶圓代工廠都無法逃開日本的原料。比如,2019年,遭遇日本制裁的韓國企業(yè)曾掀起了“振興韓芯半導(dǎo)體核心原材料”運動,然而由于在專利積累和工藝水平上實在與日本廠商差距過大,無論是進口多元化還是自主生產(chǎn)的辦法都沒有改變現(xiàn)狀,斷供事件兩年來,韓國晶圓代工廠從日本進口的光刻膠數(shù)量不降反升,光刻膠“去日化”運動宣告失敗。
因此,對于起點更低,起跑更晚的國產(chǎn)光刻膠廠商來說,想從光刻膠這個“配好對”的市場里分一杯羹,更不是件容易的事。
從這樣的情況來看,中芯國際楊曉松曾說“沒一家能看的”,似乎也是行業(yè)實情。
技術(shù)在追趕中,量產(chǎn)說不準,訂單沒著落,處在這樣境遇中的國產(chǎn)光刻膠,卻能在市場上攻城略地,沖在半導(dǎo)體板塊的排頭。
那么,國內(nèi)光刻膠市場實際有多大呢?
差不多只有22億美元。
而2020年國產(chǎn)半導(dǎo)體光刻膠銷售額合計不到2.5億元,高端光刻膠的銷售額則幾乎可以忽略不計。
放眼全球,光刻膠的整體市場規(guī)模也不過百億美元左右。國內(nèi)的光刻膠廠商沒有量產(chǎn)的能力,銷售盈利能力更無從談起,券商把未來描繪得再美好,此時此刻的光刻膠概念是不是虛高,從上面的數(shù)據(jù)一看便知。
冷靜地思考國產(chǎn)光刻膠的發(fā)展道路,踏實解決在技術(shù)、量產(chǎn)、市場上的問題,才能真正地讓我國的半導(dǎo)體事業(yè)走上國際的潮頭。
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