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設備內部如何控制潔凈度 要求達到class10標準

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1#
發表于 2024-5-31 23:23:21 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
各位大佬求助一下，半導體設備內部要求運動的時候潔凈度等級要達到class10，有沒有知道要如何入手，以及應該測哪些位置，一定要所有位置都達到classq10嗎？怎么確定測哪些點
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2#
發表于 2024-6-1 08:53:45 | 只看該作者
加過濾，加抽風，用符合要求的材料和運動方式
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