微電子機械系統發展展望

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微電子機械系統發展展望 （高技術）
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3 j. p9 u+ `* H q: s 　　李志堅 * E. H& b- n$ i 　　M E M S 一詞由M i c r o E l e c t r o M e c h a n i c a l S y s t e m 的4 個字首組成， 可譯為微電子機械系統。M E M S 的起源可以追溯到6 0 年代，1 9 8 9 年后M E M S 一詞就漸漸成為一個世 界性的學術用語，M E M S 技術的研究開發也日益成為 國際上的一個熱點。與M E M S 一詞同時流行的還有M i c r o M a c h i n e （微機械）和M i c r o S y s t e m （微系統）。它們都以微小（M i c r o ）為特征，有的強調機械，有的強調系統，但當前人們 常不加區別地與M E M S 通用。 　　一般地說，M E M S 具有以下非約束性的特征： 　　（1 ）尺寸在毫米到微米范圍之內，區別于一般宏 （M a c r o ），即傳統的、大于1 厘米尺度的“機械 ”，但并非進入物理上的微觀層次； 　　（2 ）基于（但不限于）硅微加工（M i c r o f a b r i c a t i o n ）技術制造； 　　（3 ）與微電子芯片類同，可大批量、低成本生產 ，性能價格比傳統“機械”制造技術大幅提高； 　　（4 ）M E M S 中的“機械”不限于狹義的機械力 學中的機械，它代表一切具有能量轉化、傳輸等功能的 效應，包括力、熱、聲、光、磁，乃至化學、生物能等 ； 　　（5 ）M E M S 的目標是微“機械”與I C 集成的 微系統———有智能的微系統。 & Y h; B' s6 w7 w8 g$ `* m9 U) l 　　用以上特征衡量，用微電子技術（但不限于此）制 造的微小機構、器件、部件和系統等都屬于M E M S 范 圍，微機械和微系統只是M E M S 發展的不同層次，有 關的科學技術都可統稱為M E M S 技術。 3 T# _+ f3 n5 O* e) a) i- x) c1 R 　　當前，信息技術已走上多媒體、網絡化和智能化的 道路，微電子信息處理已向系統級芯片集成發展。無論 從微型化或性能價格比發展看，信息獲取（傳感）技術 和信息執行技術，即所謂“外部設備”技術都已成為發 展的瓶頸；它們與“主機”的接口（H I ）也成為阻礙 處理速度的關鍵。M E M S 技術的目標是把信息獲取、 處理和執行一體化地集成在一起，使之成為真正的系統 ，因此該技術對信息技術的革命意義是不言而喻的。對 傳統的“機械學”來說，M E M S 技術不僅打開了“微 尺寸”新領域的大門，也是真正實現機電一體化的開始 。M E M S 被認為是微電子技術的又一次革命，對2 1 世紀的科學技術、生產方式和人類生活質量都會有深遠 的影響。 3 z$ t6 a* V, `! c' X5 C0 j 　　（原載《科技導報》9 ／1 9 9 7 ，本文是一篇論 文的引言部分） * t8 ]( Y6 O' L0 Q* M* x7 O 　　《人民日報》（1 9 9 7 1 1 2 6 十版）

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M E M S                  微電子機械系統   美國叫法      基于IC工藝發展起來的
i c r o M a c h i n e  微機械           日本豬叫法    基于精密加工發展起來的
S y s t e m              微系統           歐洲叫法      基于德國LIGA工藝發展起來的

胡輝958857016

MEMS在當前中國還不可能做高深的探究。。。。

luyupei

我們原來公司的總工是這方面的雙博士，在中國混不下去了，又回美國了！