MEMS技術（微電子機械系統）

douglasChen

微電子機械系統(Micro Electro Mechanical System，簡稱MEMS)是在微電子技術基礎上發展起來的多學科交叉的新興學科，它以微電子及機械加工技術為依托，范圍涉及微電子學、機械學、力學、自動控制學、材料科學等多種工程技術和學科。fficeffice" />

    完整的MEMS是由微傳感器、微執行器、信號處理和控制電路、通訊接口和電源等部件組成的一體化的微型器件系統。其大小在毫米量級下，其目標是把信息的獲取、處理和執行集成在一起，組成具有多功能的微型系統，完成大尺寸機電系統所不能完成的任務，也可以嵌入大尺寸系統中，從而大幅度地提高系統的自動化、智能化和可靠性水平。正如集成電路技術把我們帶入信息時代一樣，很多科學家都認為：MEMS會給人類社會帶來另一次技術革命，它將對21世紀的科學技術、生產方式和人類生活質量產生深遠影響，因而被認為是關系到國家科技發展、國防安全和經濟繁榮的關鍵技術。

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