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ASML是 Advanced Semiconductor Material Lithography的簡稱,中文名稱為阿斯麥(中國大陸)、艾司摩爾(中國臺灣)。艾司摩爾(ASML)為半導體設備供貨商,成立于1984年,是從荷商飛利浦分割出來獨立的半導體設備公司,總部設立于荷蘭的Veldhoven! SML為半導體生產商提供光刻機及相關服務,TWINSCAN系列是目前世界上精度最高,生產效率最高,應用最為廣泛的高端光刻機型。目前全球絕大多數半導體生產廠商,都向ASML采購TWINSCAN機型,例如英特爾(Intel),三星(Samsung),海力士(Hynix),臺積電(TSMC),中芯國際(SMIC)等。
8 _& r U& g& H* } ASML的產品線分為PAS系列,AT系列,XT系列和NXT系列,其中PAS系列光源為高壓汞燈光源,現已停產,AT系列屬于老型號,多數已經停產。市場上主力機種是XT系列以及NXT系列,為ArF和KrF激光光源,XT系列是成熟的機型,分為干式和沉浸式兩種,而NXT系列則是現在主推的高端機型,全部為沉浸式。# A9 x0 l2 F. L ]1 q
ASML旗下機臺設備不斷推陳出新,在1984和1989年分別推出PAS 2000和PAS 5000機臺;1990年推出PAS 5000 Stepper/Scanner;2000年推出Twinscan曝光機系統;2010年進入EUV系統機臺。
. E4 C3 L9 o M( [0 y ASML在2006年推出第1代的EUV機臺,目前進入第2代的NEX 3100機臺,此款機臺預計只會出6臺,年底前全數出貨。之后會進入NEX 3300機臺量產型的機臺,其曝光速度和瞄準率高較高,目前已接獲晶圓代工,和臺、韓、美、日等內存制造商訂單,預計2012年正式出貨。
! _$ T' I% l" Z8 \6 j8 ? 截至2011年第1季底,ASML全球員工人數約7,400人,其中4,000人位于荷蘭總部,在臺灣林口分公司約700~800人。
3 l7 @4 H% i. N4 o ASML在2011年第1季營收為14.52億歐元、凈利為3.95億歐元,機臺設備出貨量為63臺;2010年營收為45.08億歐元、凈利為10.22億歐元,機臺設備出貨量為197臺。
* {% p& {+ ~. g5 d. X% O* l- V 在ASML各地區營收比重中,韓國占16%、臺灣占28%、新加坡占5%、大陸占4%,美國市場占33%、歐洲市場占14%。
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應材,全稱應用材料公司,成立于1967年。是一家全球領先的半導體、平板顯示和太陽能光伏行業精密材料工程解決方案供應商。應用材料公司的技術使智能手機、平板電視和太陽能面板等創新產品 以更普及、更具價格優勢的方式惠及全球商界和普通消費者。$ a) R: U1 c6 v" `& \
自1967年成立至今四十多年來,應用材料公司一直都是領導信息時代的先驅,以納米制造技術打造世界上每一塊半導體芯片和平板顯示器。目前,應用材料已進入太陽能面板和玻璃面板的生產設備領域。
7 m% G# t. ~( }8 J$ g* J 應用材料公司在全球13個國家和地區的生產、銷售和服務機構有13,000多名員工用高科技設備來推動全球納米技術的發展。2005年,應用材料公司收入達70億美元并連續14年在半導體生產設備領域獨占鰲頭。
0 X. W1 P1 |# f7 D+ u. I9 v 1984年,應用材料公司在北京設立了中國客戶服務支持中心,成為第一家進入中國的外資芯片制造設備公司。通過為中國的高科技制造業提供長期支持,應用材料公司在中國已經成為半導體、平板顯示以及太陽能光伏制造設備與服務領域的頂級供應商之一。
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, v6 Q4 @! J' ~3 s3 g& ELam Research為全世界第三大半導體設備商,總公司于1980年成立于美國加州硅谷、1984年股票于美國NASDAQ上市、電漿蝕刻設備為全球銷售之冠、四十多家子公司遍及歐洲、日本、韓國、新加坡、臺灣、中國大陸等世界各地。
/ T' w" h6 J; J: s9 B. d7 g5 Q 科林研發(Lam Research Corp.)是面向全球半導體行業提供晶圓制造設備和服務的主要供應商。科林研發30多年來始終致力于推進半導體制造?屏盅邪l是等離子刻蝕和單晶圓清洗技術與市場份額的領先廠商,科林研發憑借全面的專業技術解決目前最尖端的半導體工藝難題?屏盅邪l總部在加利福尼亞州弗里蒙特,并有一個遍及北美、亞洲和歐洲的全球服務網絡,滿足全球客戶群多種多樣和不斷變化的需求。
( P, }$ E+ Z7 G 作為半導體制造設備和服務給全球半導體行業的領先供應商,科林研發開發創新的解決方案,幫助客戶構建更小、 更快、 功能更強大、 更節能的電子設備。& ]6 [) u* k9 w$ |% ]; z
美國科林研發公司在上海和北京設立了分公司和代表處,主要負責中國區客戶的售后服務。
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美商半導體設備大廠科磊(KLA-Tencor)成立于1976年,位于美國加州,是全球主要的半導體設備供貨商,專精制程良率和提供制程控管量測解決方案,目前全球分公司遍布美洲、歐洲、亞洲等數10個國家,科磊在臺灣分公司則是成立于1990年。
) C+ h6 s5 }0 p( K+ m8 F) E 科磊第一臺擁有操作和檢測450mm(18吋)晶圓的制程控制系統Surfscan SP3 450,是全自動化非圖形成像晶圓缺陷檢測工具,針對檢測20納米制程或以下的線寬制程缺陷和晶圓表面的需求,可供450mm表面拋光晶圓和硅基(Epitaxial)晶圓的生產制程控制。
0 u: G/ ~. K0 C 科磊投入先進制程設備開發,也包括電子束(E-beam)技術機臺,臺積電才表示未來在7納米制程,會在EUV機臺和電子束(E-beam)機臺上做出選擇,其中科磊是E-beam機臺的合作伙伴之一,其他合作對象包括Mapper Lithography和IMS。2 I, f) R6 Q5 H) @5 S2 i% K2 U
在極紫外光(EUV)機臺方面,目前最積極投入的是荷蘭半導體設備大廠ASML,日前也獲得臺積電、三星電子(Samsung Electronics)和英特爾(Intel)的入股投資。: R, t! y2 Y C- \& h& k+ `0 o
KLA-Tencor China(科天中國)成立于1999年,隸屬KLA-Tencor 公司旗下,針對中國獨具特色的市場,旨在為半導體、數據存儲、LED、光伏和后端封裝等產業提供服務。Kla-Tencor在中國上海、天津、北京、蘇州成立分公司或辦事處,2003 年成立工程開發中心。
: ~- @) t* c2 u1 u* b7 D- z) SSCREEN 集團專職研究開發各項半導體設備、液晶生產設備及專業級印刷設備,其集團公司包含全世界共有數十個服務據點,足跡遍及臺灣、日本、美國、歐洲、中國大陸、韓國、新加坡等地。
e) p7 a% [: n 迪恩仕總部位于日本。從印前、印刷及相關設備到電子產業,迪恩士已在各個領域擴大了其業務范圍。 在“發展思路”的公司的原則指導下,以核心圖像處理技術為杠桿,不斷努力開創著新的業務和產品。
; I, r% C* H( F+ } 迪恩仕現在正在發展和生產印刷領域及世界領先的高科技領域的印刷技術數字化設備,如電子領域的半導體制造設備,FPDs (平板顯示器)和印刷電路板。0 }, H1 n( B3 @9 K2 O+ j
半導體和液晶產業市場情況的變化(周期)往往是高度活躍的,這也造成了迪恩仕公司的經營成果的上下波動。為了使3年中期經營目標更容易實現,在2006年3月,迪恩仕推出了“展望2008年( 2006年度至2008年) ”綜合計劃, 一個3年期的建立在“邁向新的發展階段”主旨基礎上的經營計劃。這項計劃的目標為持續的發展,這將使迪恩仕成為投資者眼中有吸引力的企業集團,同時也表達了迪恩仕對社會的承諾。- h, m. V, @2 A
廸恩仕科技提供各領域之半導體晶圓設備,包含洗凈、蝕刻、顯影/涂布等制程用途,其中洗凈設備于半導體業界具有極高之市占率,同時隨著半導體制程技術進步不斷推陳出新設備產品。1 l" [! T6 O$ G. ~
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