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本帖最后由 Miles_chen 于 2017-6-14 13:28 編輯
& ~. m1 x0 |+ b' N& O7 V
) Y. a* g8 c) x" t2 w: g樓主,這個振動 是指 X軸運動中的Z方向的跳動嗎
* M/ Q3 a1 ~7 d2 b1 |如果是這個,個人想法:
( N2 A8 W, D0 p% k5 T0 V8 ]1 @應(yīng)該先測下 滑臺的 運動平行度
+ g8 Y4 e3 s% u% g& Z) A7 z短行程的精密滑臺 運動直線度 能保證在10um內(nèi) R2 l; Y& j8 p8 ~# v* I, w$ _
查了下上銀的 KK模組,KK60 400行程內(nèi)的,行走平行度 也是 10um3 Y9 r5 F1 L7 _, D* ?* U6 I$ m
似乎在量級上 不會和你要求的20um差太多
: T5 {( s! H7 A. r+ I2 X8 _- b/ R0 D
所以,先確認(rèn)模組的運動平行度是否OK; b2 |9 f( V# j& A/ s
這個OK且滿足你的要求的情況下5 s$ h& l7 u( G1 r$ b! c6 y
超差的Z軸跳動,就要考慮 隔振問題了。 |
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