《超高真空技術(shù)》PDF

la999

超高真空技術(shù)
; f+ w5 Q/ t0 l- h3 W6 U作者：邱愛葉，邵健中編著
出版項(xiàng)：浙江大學(xué)出版社 / 1991.8
7 A8 K( ~, M7 D: ?3 \- \2 h原書定價(jià)：￥2.65
無裝幀項(xiàng)：20cm / 241頁
& t1 \, p. ~3 n/ ^ISBN號(hào)：73080074** / TB751

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駱馬湖鐵匠

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1.對(duì)檢漏方法的一般要求
  P8 E  i& F0 X: i' u+ b（1）檢漏靈敏度高，可以檢出很小的漏孔；
7 L' h; w/ H- F* [3 d（2）反應(yīng)時(shí)間短，可以提高工作效率；
（3）能定位、定量，即不僅能夠找出漏孔的位置，還能確定漏率的大小，以便確定是否合乎質(zhì)量要求；
% s/ ]) V7 P8 Q* \  W- Y7 M3 I（4）能無損檢漏，不使被檢設(shè)備受到損壞和污染；
& Q( `% }! `' n2 }1 M7 T4 z（5）穩(wěn)定性好，即保證足夠長(zhǎng)時(shí)間內(nèi)靈敏度穩(wěn)定可靠；
（6）所用“示漏氣體”在空氣中含量低、無毒、不腐蝕零件；
（7）檢漏范圍大，從大漏孔到小漏孔都能檢測(cè)，以減少檢漏設(shè)備的數(shù)量和費(fèi)用；
( o" c2 I8 v8 \' C; l（8）檢漏時(shí)應(yīng)潔凈無油，滿足一些特殊要求。
2.選擇檢漏方法的原則
（1）主要根據(jù)被檢漏設(shè)備的允許漏率為依據(jù)，由于一個(gè)設(shè)備的允許漏率是很多漏孔漏率的綜合，為找到一個(gè)單個(gè)漏孔，所選擇的檢漏方法的檢漏靈敏度就要高于允許漏率1～2個(gè)數(shù)量級(jí)。如一個(gè)設(shè)備的允許漏率為10-11W，而必須選用的檢漏靈敏度為10-12～10-13W；
（2）根據(jù)具體被檢對(duì)象，所用方法簡(jiǎn)便易行、經(jīng)濟(jì)實(shí)用。
& o) ^$ D$ R8 b3.檢漏方法的分類
按被檢容器所處的狀態(tài)可分為兩大類，即加壓檢漏法和真空檢漏法。
3 h1 M6 w9 D) n（1）加壓檢漏法。在被檢容器內(nèi)充入一定壓力的氣體（稱試驗(yàn)氣體或者探漏氣體）或液體，當(dāng)容器上存在漏孔時(shí)，氣體（或液體）便從漏孔中逸出，從哪里逸出，逸出量的多少等，就可判斷有無漏孔存在、漏孔位置和大小。屬于此類檢漏方法有：
水壓法：將清潔的水壓入被檢容器中，一般水壓在2～3個(gè)大氣壓左右，觀察容器外壁有無水珠出現(xiàn)，根據(jù)水珠出現(xiàn)的位置大小和快慢，來確定漏孔位置和估計(jì)漏氣量的大小。
' c% g0 t) }2 R! r* a5 `6 r6 t9 B氣壓法：將試驗(yàn)氣體（空氣或其他氣體）壓入被檢容器，在外面檢查有無氣體逸出，具體方法有：火焰、氣泡指示法（水槽法、皂膜法）；氨檢漏法；鹵素檢漏儀和氨質(zhì)譜儀吸嘴法和放射性同位素法。其中鹵素檢漏法是，金屬鉑在高溫（常用850～950℃）下產(chǎn)生正離子發(fā)射（主要是堿金屬離子），這種發(fā)射遇到鹵素氣體時(shí)急劇增加，依據(jù)這個(gè)現(xiàn)象可以制成一種檢漏儀器，即鹵素檢漏儀。
鉑的離子發(fā)射現(xiàn)象被設(shè)置在一個(gè)探頭中，探頭是一支二極電子管結(jié)構(gòu)，加熱絲、陽極及不銹鋼陰極組成一間熱式二極管，后部安裝吸氣風(fēng)扇，使用時(shí)不斷吸進(jìn)氣體，工作時(shí)二極管的陽極由燈絲加熱到850～950℃，陰極對(duì)陽極加有250V負(fù)電壓并收集正離子，離子電流由電子電路放大后，用儀表指示，考慮到檢漏時(shí)無暇觀察儀表指示
示漏氣體多用氯的鹵化物，如氟利昂、氯仿、四氯化碳等，其中以氟利昂無毒、不可燃、蒸汽壓力高、靈敏度高被廣泛應(yīng)用。檢漏時(shí)，鹵素氣體充于被檢件內(nèi)，用外探頭在外部
尋找漏孔。這種方法可檢出10-9 Pa·m3/s的漏孔，工業(yè)產(chǎn)品一般為10-6～10-7Pa·m3/s。
- l) x% I/ l$ b4 k+ {5 J: i! t（2）真空檢漏法。將被檢容器內(nèi)部抽空后，再把試驗(yàn)物質(zhì)施于容器外表可疑位置。如有漏孔，試驗(yàn)物質(zhì)便通過漏孔
9 c2 o7 n7 D' \8 A8 [進(jìn)入容器，通過一些方法或儀器指示出來，從而可判斷出漏孔的位置和大小。屬于此類的方法有：靜態(tài)升壓法；放電管法；真空計(jì)法；氫-鈀法；離子泵法；高頻火花檢漏法；鹵素檢漏法；質(zhì)譜檢漏法。其中離子泵檢漏法是，濺射離子泵的離子流大小可反映真空系統(tǒng)真空度的高低，因此，類似于電離真空計(jì)的方法，用離子泵的電流指示可對(duì)系統(tǒng)或被抽容器進(jìn)行檢漏。這也是一種既簡(jiǎn)單又靈敏的檢漏方法。