請教：微米級的龍門滾珠絲杠傳動如何檢測和校正？

共產(chǎn)可期

背景：目前需要做一個龍門結(jié)構(gòu)的設備，利用伺服電機+THK研磨滾珠絲杠+THK直線導軌傳動，運動尺寸XY分別為1米x1米左右。需要保證兩根X軸的平行度、X和Y的垂直度。對X軸雙驅(qū)而言，運動負載90KG左右。項目要求運動的重復精度需要達到微米級，運動速度達到300mm/s。（直線電機由于成本和空間的原因，被直接否決了。）
需求：不知道有沒有什么高精度的檢測和校正系統(tǒng)，需要怎么設計？有了伺服電機，所以光柵尺定位也被否決了。一開始考慮用千分表慢慢打表，但因為跨度很大，安裝的工裝可能會變形。激光測距也沒有使用過。有沒有大神指點指點啊？比如什么書籍推薦、供應商推薦、方法推薦之類的都行

丹楓911

最高精度等級的大理石平臺，最高等級的絲杠導軌，分辨率最高的光柵尺，高分辨率的西門子伺服電機，剛性聯(lián)軸器，高水平鉗工，所有這些都是必需的條件，但是也未必能做到微米精度，你這個雙驅(qū)更不現(xiàn)實，增加了同步控制難度，最好單驅(qū)。
你們這個微米精度是誰提出來的？這么高精度

共產(chǎn)可期

丹楓911 發(fā)表于 2022-9-29 16:30
最高精度等級的大理石平臺，最高等級的絲杠導軌，分辨率最高的光柵尺，高分辨率的西門子伺服電機，剛性聯(lián)軸 ...

光柵尺已經(jīng)被控制同事給排除了。精度是參考的友商樣冊。

jijie2012

驗證重復性的方法可以使用千分表試試，但是這個也是虛的不是準確的，目前比較好的驗證方法就是激光干涉儀驗證。這里要說明一下真要達到微米級重復精度要求的企業(yè)必定會上更高的儀器設備做驗證。樓主這個方案精度要求肯定需要用到全閉環(huán)反饋尺，要不就是只是提出要求實際未必是這個要求，順便給樓主介紹一下磁柵尺，重復精度1μm加我   VX   13116719459

受不了了

這精度，社區(qū)里估計就沒幾個人接觸過

giveyousese

是什么設備要求微米級，光刻機嗎

大白小白

進來看如何實現(xiàn)um級

共產(chǎn)可期

giveyousese 發(fā)表于 2022-9-29 17:24
是什么設備要求微米級，光刻機嗎

X光三維重建

共產(chǎn)可期

受不了了 發(fā)表于 2022-9-29 17:13
這精度，社區(qū)里估計就沒幾個人接觸過

那請問通用的檢測方法資料有推薦的嗎？

風之鯤

光柵尺不就是用在這種狀況下的嗎，是電氣控制人員搞不定還是咋回事，直接就否決了？微米有點夸張了，這跟做個加工中心一樣了