真空泄露？真空腔體

小袁好累

請教大家一個真空不保壓的問題？腔室16L，真空腔體在出廠檢驗過漏氣率6.2*10-2次方pa.L/s
腔體主要材質是304不銹鋼，腔體的門板是鋁合金，內表面電解拋光過。
現在情況是，空抽，介質是空氣，關閉擋板閥后，理論來說是保壓狀態，
但結果是關閉擋板閥就開始升壓，從10pa緩慢升壓，至10小時后升壓到150pa
后面再次腔體撿漏卻沒有發現漏點，對了，總共抽真空20幾次，都是用常規空氣破真空的

gunianyisheng

有沒有可能真空內部虛漏

gunianyisheng

常規空氣吸附在內壁，造成虛漏，或者其他部件放氣

ericshen12

gunianyisheng 發表于 2024-7-16 13:29
常規空氣吸附在內壁，造成虛漏，或者其他部件放氣

你好啊，這方面資料是在什么書籍上有介紹啊。

駱馬湖鐵匠

腔室做的不是很好，普通的正常做出來的背景值可以達到5E-9Pa.m³/s

游離縉云

內壁有沒有拋光，焊接是內焊嗎，有沒有死角儲存有空氣？

小火鷹

烘烤過嗎

小袁好累

gunianyisheng 發表于 2024-7-16 13:28
有沒有可能真空內部虛漏

有點懷疑是燕尾槽O型圈哪里沒有開個連通的槽，讓燕尾槽與腔體內部連接，抽真空的時候順便把燕尾槽夾層的空氣也抽走，這樣減少內部虛漏的可能

小袁好累

gunianyisheng 發表于 2024-7-16 13:29
常規空氣吸附在內壁，造成虛漏，或者其他部件放氣

里面沒有其他零件，空抽，密封件采用的低放氣率的氟橡膠，之前有150度烘烤1小時脫氣過

小袁好累

駱馬湖鐵匠 發表于 2024-7-20 08:01
腔室做的不是很好，普通的正常做出來的背景值可以達到5E-9Pa.m³/s

我也覺得供應商做的不行，感覺電解拋光做的不好，你這個漏率要求我在磁控濺射上看到過，我這個閃蒸要求不是很高，之前要求E-4pa L/S，供應商都達不到