微電子機(jī)械系統(tǒng)發(fā)展展望

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微電子機(jī)械系統(tǒng)發(fā)展展望 （高技術(shù)）
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李志堅(jiān) 　　M E M S 一詞由M i c r o E l e c t r o M e c h a n i c a l S y s t e m 的4 個字首組成， 可譯為微電子機(jī)械系統(tǒng)。M E M S 的起源可以追溯到6 0 年代，1 9 8 9 年后M E M S 一詞就漸漸成為一個世 界性的學(xué)術(shù)用語，M E M S 技術(shù)的研究開發(fā)也日益成為 國際上的一個熱點(diǎn)。與M E M S 一詞同時流行的還有M i c r o M a c h i n e （微機(jī)械）和M i c r o S y s t e m （微系統(tǒng)）。它們都以微小（M i c r o ）為特征，有的強(qiáng)調(diào)機(jī)械，有的強(qiáng)調(diào)系統(tǒng)，但當(dāng)前人們 常不加區(qū)別地與M E M S 通用。 8 j4 ~% ^. o+ G2 h& O/ X 　　一般地說，M E M S 具有以下非約束性的特征： " c0 R2 e$ I3 g( A7 b 　　（1 ）尺寸在毫米到微米范圍之內(nèi)，區(qū)別于一般宏 （M a c r o ），即傳統(tǒng)的、大于1 厘米尺度的“機(jī)械 ”，但并非進(jìn)入物理上的微觀層次； 　　（2 ）基于（但不限于）硅微加工（M i c r o f a b r i c a t i o n ）技術(shù)制造； 　　（3 ）與微電子芯片類同，可大批量、低成本生產(chǎn) ，性能價(jià)格比傳統(tǒng)“機(jī)械”制造技術(shù)大幅提高； 　　（4 ）M E M S 中的“機(jī)械”不限于狹義的機(jī)械力 學(xué)中的機(jī)械，它代表一切具有能量轉(zhuǎn)化、傳輸?shù)裙δ艿?BR>效應(yīng)，包括力、熱、聲、光、磁，乃至化學(xué)、生物能等 ； , o2 X5 _* R9 S$ I 　　（5 ）M E M S 的目標(biāo)是微“機(jī)械”與I C 集成的 微系統(tǒng)———有智能的微系統(tǒng)。 　　用以上特征衡量，用微電子技術(shù)（但不限于此）制 造的微小機(jī)構(gòu)、器件、部件和系統(tǒng)等都屬于M E M S 范 圍，微機(jī)械和微系統(tǒng)只是M E M S 發(fā)展的不同層次，有 關(guān)的科學(xué)技術(shù)都可統(tǒng)稱為M E M S 技術(shù)。 ' j8 F: I5 J5 \; s1 ` 　　當(dāng)前，信息技術(shù)已走上多媒體、網(wǎng)絡(luò)化和智能化的 道路，微電子信息處理已向系統(tǒng)級芯片集成發(fā)展。無論 從微型化或性能價(jià)格比發(fā)展看，信息獲取（傳感）技術(shù) 和信息執(zhí)行技術(shù)，即所謂“外部設(shè)備”技術(shù)都已成為發(fā) 展的瓶頸；它們與“主機(jī)”的接口（H I ）也成為阻礙 處理速度的關(guān)鍵。M E M S 技術(shù)的目標(biāo)是把信息獲取、 處理和執(zhí)行一體化地集成在一起，使之成為真正的系統(tǒng) ，因此該技術(shù)對信息技術(shù)的革命意義是不言而喻的。對 傳統(tǒng)的“機(jī)械學(xué)”來說，M E M S 技術(shù)不僅打開了“微 尺寸”新領(lǐng)域的大門，也是真正實(shí)現(xiàn)機(jī)電一體化的開始 。M E M S 被認(rèn)為是微電子技術(shù)的又一次革命，對2 1 世紀(jì)的科學(xué)技術(shù)、生產(chǎn)方式和人類生活質(zhì)量都會有深遠(yuǎn) 的影響。 　　（原載《科技導(dǎo)報(bào)》9 ／1 9 9 7 ，本文是一篇論 文的引言部分） 　　《人民日報(bào)》（1 9 9 7 1 1 2 6 十版）

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M E M S                  微電子機(jī)械系統(tǒng)   美國叫法      基于IC工藝發(fā)展起來的
0 r+ }! C) c9 ]$ @i c r o M a c h i n e  微機(jī)械           日本豬叫法    基于精密加工發(fā)展起來的
* j- p2 ]! ]: W/ l5 V: LS y s t e m              微系統(tǒng)           歐洲叫法      基于德國LIGA工藝發(fā)展起來的

胡輝958857016

MEMS在當(dāng)前中國還不可能做高深的探究。。。。

luyupei

我們原來公司的總工是這方面的雙博士，在中國混不下去了，又回美國了！