ICP光譜儀高頻發(fā)生器的原理和維修

江邊鳥

高頻電源是電感耦合等離子體發(fā)射光譜儀的重要組成部分。由于高頻電源處于高壓、高
1 M+ [' ^5 [/ N8 k' j" A; p頻、大功率的工作狀態(tài)，因此出現(xiàn)故障的幾率較高。本文介紹美國LEEMAN公司生產(chǎn)的PLAS—
MA—sPEc顧序直讀電感耦合等離子體發(fā)射光譜儀的高頻電源原理和故障分析檢修實例，供
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