微米級精度的測量，有哪些方法

忍愛天下

最近在測一些數據，要求精度至少在1um以內，現在自己了解到的關于一些測量的工具如游標卡尺、深度尺、高度尺、百分表、塞尺也就在0.01mm的精度，內徑、外徑千分尺可以達到0.001mm但是在一些場合用他們來測量的話礙于結構形式不能實現，而千分表的話則對于多次測量需要找一個基準做參考，且主要用來測跳動的居多。現在機床上精度用的比較高的測量裝置就是光柵尺，然而它不能像卡尺這樣用著隨心應手，再者一些比較高端的測量工具如激光干涉儀等一些光學測量元件其價格昂貴。

各位在實際測量一些微米級或者精度更高的尺寸時，用的是什么測量工具？
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$ G( ?8 J  ^) }+ {& A6 O小弟不才，才疏短淺望各位前輩能指點一二。謝謝。如測量直線導軌， 滑塊的測量與導軌側面的距離要求精度微米級以內。

LIAOYAO

昨天才發過  求精度為微米級的測量方式或工具？
! g/ r5 ]! \3 a7 y* @5 I& Z6 H今天再發個  微米級精度的測量，有哪些方法

帖子內容基本上有90%以上是雷同。

寂靜天花板

測量的先決條件是確定要測的是什么量，也就是要對特定的被測量作明確說明，或者說對要測量的量下一個定義。實際上，被測量應相應于所需準確度而完整定義，以便對與測量有關的所有的實際用途來說，其值是單一的。舉例:一根長度標稱值為1m的鋼棒若需測準至微米級，其說明應包括定義長度時的溫度和壓力。如: 應說明被測量為鋼棒在25.00℃和101325Pa時的長度。如果僅說明鋼棒在101325Pa時的長度，沒有說明溫度，那么，對于不同的溫度，會有不同的鋼棒長度值，被測量就不是單一值了。然而，如果被測長度僅需毫米級準確度，其說明可能就無需規定溫度或壓力或任何其他影響量的值。

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jin386

基恩士的位移傳感器，精度可以達到0.0001，測量范圍比較小，只有幾十

揚天測量

要不做檢具，要不老老實實比對測量
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沙漠鷹狼

這個精度對測量工具、測量員、測量環境要求真的太高了，國內這樣的企業多嗎？

chuangyan

這應該叫納米測量技術了

立為智能

微米級精度要求，實際分辨率要求則是納米級精度，常見的普通測量顯微鏡等受數值孔徑限制都已無法滿足，如要求微米級精度測量Z方向深度或粗糙度，基本上是要使用光學輪廓儀,

立為智能

光學輪廓儀又叫白光干涉儀，152-1950-4346孫

hitele002

057762768008
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