關于真空腔室與進入氣體流量不穩定的問題

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各位大俠：
" k: `% M0 |# N, l       最近碰到一個很棘手的問題難以解決，在這里請教各位大大。
# w' z: ^) y- c8 [       我們的技術是低溫等離子體，是在真空腔里到達我需要的真空度后進氣放電這么一個過程。（我們進的氣是氨氣）
       但現在遇到的情況是在運行十幾次正常放電后，突然不進氣就放電了，比如正常我是40pa的時候通過質量流量控制器進氣，達到75pa時放電。后來40pa進氣，就直接40pa放電，但流量計反饋的是進了氣的。（這個是我裝了質量流量控制器的問題）
. D/ }9 d& J( I* Z2 i: D% m       后來我就把質量流量計換成了轉子流量計，出現了一個新問題。正常情況下到40pa的時候進氣，我給轉子流量計設定的值是9然后放電，但運行幾次后流量計上的數值就下降到8，在運行幾次到7，慢慢下降最后導致我不能放電。
       這些問題我也咨詢過廠家的一些人都不清楚這個情況，我也是第一次碰到這個情況。
       在這里有沒有專業人士給我解答下的     謝謝了
7 }- v5 K6 t/ F( P% Q! y& \        還有就是我的腔體里面四周有四氟板和高硼硅玻璃加工件，再加2個不銹鋼電極，我現在有點懷疑是真空腔內結構的問題。如果有專業真空的大大遇到過這個情況的麻煩教我下。在這里謝謝了
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