關(guān)于真空腔室與進入氣體流量不穩(wěn)定的問題

sol

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各位大俠：
) Q4 N9 M" y+ Q) I( [: n( Y       最近碰到一個很棘手的問題難以解決，在這里請教各位大大。
       我們的技術(shù)是低溫等離子體，是在真空腔里到達我需要的真空度后進氣放電這么一個過程。（我們進的氣是氨氣）
       但現(xiàn)在遇到的情況是在運行十幾次正常放電后，突然不進氣就放電了，比如正常我是40pa的時候通過質(zhì)量流量控制器進氣，達到75pa時放電。后來40pa進氣，就直接40pa放電，但流量計反饋的是進了氣的。（這個是我裝了質(zhì)量流量控制器的問題）
+ c) ]7 }2 N- _& m+ t) [( ~       后來我就把質(zhì)量流量計換成了轉(zhuǎn)子流量計，出現(xiàn)了一個新問題。正常情況下到40pa的時候進氣，我給轉(zhuǎn)子流量計設(shè)定的值是9然后放電，但運行幾次后流量計上的數(shù)值就下降到8，在運行幾次到7，慢慢下降最后導(dǎo)致我不能放電。
* `- g6 E9 B% x+ B       這些問題我也咨詢過廠家的一些人都不清楚這個情況，我也是第一次碰到這個情況。
2 |. S* D# I" c# f% `# `0 z       在這里有沒有專業(yè)人士給我解答下的     謝謝了
6 Q5 i9 @. t2 g' u" j4 ~9 Z        還有就是我的腔體里面四周有四氟板和高硼硅玻璃加工件，再加2個不銹鋼電極，我現(xiàn)在有點懷疑是真空腔內(nèi)結(jié)構(gòu)的問題。如果有專業(yè)真空的大大遇到過這個情況的麻煩教我下。在這里謝謝了
        
   

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