檢測1000攝氏度的白金電阻溫度計

寂靜天花板

近日，日本產業技術綜合研究所的研究組與日本CHINO株式會社合作，成功研發出了能在1000攝氏度附近高溫區，準確測定溫度的白金電阻溫度計。
　　
: s% a! `/ t) p$ u: v# w" _以往，在半導體制造等需要對溫度進行準確測定的場合，都是采用以白金（鉑）絲為傳感器的白金電阻溫度計。然而，在1000攝氏度附近的高溫區，白金的電阻率并不穩定，而且白金絲自身也會產生熱扭曲，所以很難實現高精度測量。
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為開發在1000攝氏度高溫區也能具有穩定電阻率的溫度傳感器，研究組對市場上銷售的白金電阻溫度計進行分析研究后，對其傳感器進行適當的熱處理，再利用日本國家標準的水三相點裝置和銀凝固點裝置反復進行熱循環試驗，分析不同溫度下的電阻值變化情況。結果發現，經過熱處理后，鉑溫度傳感器在1000攝氏度附近的電阻變化實現最小化，溫度計性能更加穩定。此外，通過對鉑絲的結構進行調整優化，使其熱扭曲程度得到減輕。
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據悉，新開發的溫度計在銀凝固點的961.78攝氏度，測量值變動范圍為±0.001度（以前為0.01度）；在水三相點的0.01攝氏度，測量值變動也穩定在±0.0005度以內，達到世界最高水平。
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