半導體設備國產化需要解決的問題 行業專家莫大康認為,發展設備業之所以最為困難,除了資金、人才等問題,最關鍵是使用量太少。 / D; ^- _5 A7 @6 o
作為一個曾在全球最大的半導體設備企業——美國應用材料公司供職多年的專家,他從五個方面總結了半導體設備國產化的難度:
% V- H8 P2 n" G4 c! M9 a一是半導體設備市場已日趨專業化和全球化。當下,全球設備業通過兼并、淘汰,在每個細分市場中僅剩下1~2家、至多3~4家企業,競爭十分激烈,如光刻機領域ASML一家獨大,且均面向全球市場。反觀國內企業,基礎較弱,有能力切入海外市場的很少。
6 i, C& N% w4 z+ P% R( \二是半導體設備的獨特地位。上世紀80年代末期開始,半導體設備企業開始把工藝能力整合在設備中,讓用戶買到設備就能保證使用,并且達到工藝要求。因此有“一代器件,一代設備”之說。這是半導體設備如此昂貴的原因,也是對國內企業的極大挑戰。 , d" Q: [- y( `1 l* Q& x
三是由于出貨數量少,設備企業難以負擔工藝試驗線的費用。為此,國內只能采取對下游制造企業進行補貼,利用制造企業的產線幫助設備企業進行試驗的辦法,這種方式顯然多有掣肘。一臺設備從研發、樣機開始,必須經過大量硅片通過等工藝試驗,才能發現問題,并進行改型。這樣的過程要重復多次,改型多次,才能最后定型。并且出廠前要經過馬拉松試驗,測算平均無故障時間等。
0 g) p' @8 x/ O四是韓國和我國臺灣地區也曾致力于設備國產化,但成效不大,目前全球市場主要仍被美國和日本企業掌控,這也從側面體現了難度。 ' c. `( I7 v5 v: `
五是設備業需要產業大環境配合。從成本構成來看,表面上我國設備企業和國外企業相差不大,如關鍵零部件都是采購而來,人員和管理費用也相仿,但是實際上,產業大環境卻十分不同。比方說,西方的股權激勵制度更為靈活,員工積極性高;同是采購零部件,我國企業因為是進口,所以要承擔稅費,而且有些零部件訂貨需要出口許可證;因為訂貨量相對小很多,采購價格高;產業配套條件不同,如實現某些設計驗證國內企業要花更高的成本;缺乏人才等。
/ U @& D% y5 @9 Q“實際上,國產設備的設計水平和國際水平相差并不大。”莫大康強調,“嚴格來說,真正的差距在于,國產半導體設備尚處在樣機階段就交給客戶,這就會導致經常宕機,因此不太可能一上來就用在量產中,否則將會影響生產線運行。” 5 @7 t9 u7 W, C! z0 m+ _7 O9 U- g
毫無疑問,這個進程是曲折的,但前景是光明的,由于西方諸國對中國半導體技術的禁運和各種原因,或會從客觀上拖慢中國半導體的發展進程,如何推動半導體設備國產化是半導體從業者需要考慮的重要問題。期待有大突破的一天。 1 M! r& o0 s+ D, a
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